半导体研磨设备对旋转导电部件有着严苛要求：低信号损耗、稳定连续电流传输、低动态电阻波动、适配低速精密回转工况，九江英智科技导电滑环专为半导体研磨、晶圆抛光类设备开发，解决旋转工作台持续供电与信号传输难题，保障研磨工序稳定可靠运行。

本半导体研磨设备滑环属于盘式精密导电滑环，8 通路 1A 电流规格，盘式扁平结构，外径 Φ80，内孔 Φ45，整体厚度仅 25.5mm，超薄紧凑盘式结构，完美适配半导体研磨设备有限的轴向安装空间，可直接集成于旋转研磨工作台，实现静止机架与旋转台面之间不间断电力与控制信号传输，避免线缆缠绕、扭断问题。

滑环内外圈分别设置出线，外圈配置 6×M2.5 外圈固定螺钉孔，内圈预留传动销定位孔，2×Φ2.5 定位销孔，安装定位简单可靠；采用 8 根 AWG26# 特氟龙耐高温导线，红黄棕灰标准色标，引线长度 500mm，布线方便，适配半导体设备内部走线规范。

核心性能，匹配半导体研磨严苛工况

1. 优异电气性能，信号稳定不跳变8 通路，每路额定电流 1A，支持 0‑36V 交直流电压；绝缘电阻≥150MΩ@250VDC，绝缘耐压 250VAC@50Hz，动态电阻变化值≤10mΩ，贵金属接触摩擦副，接触电阻波动极小，研磨工作台低速往复旋转过程中，不会出现信号断连、电流跳变，保障研磨压力、转速反馈信号稳定输出。
2. 低速精密旋转适配最高工作转速≤200rpm，高度匹配半导体研磨设备低速精密回转的运行特性，盘式滑环在低速工况下接触性能表现优异，无跳信号、无杂讯干扰，适配晶圆研磨、抛光工位连续长时间作业。
3. 环境适应性强，车间稳定运行工作温度‑20℃~+80℃，湿度＜70%，防护等级 IP51，可抵御研磨车间少量粉尘、水汽侵入；主体铝合金壳体，轻量化同时具备良好刚性，贵金属接触材料，耐磨寿命长，适合半导体设备 7×24 小时间歇生产工况。
4. 成熟机械安装结构内孔 Φ45 通孔结构，可允许管路、光纤穿过中心通孔；外圈法兰螺钉固定，内圈传动销定位，避免滑环自身承受扭矩，降低设备装配调试难度；扁平薄型体积，大幅节省设备轴向空间，便于设备结构布局优化。

半导体研磨设备应用价值

半导体晶圆研磨抛光设备工作台需要持续旋转，普通线缆会发生扭转缠绕，极易断线造成生产停机、晶圆报废。

英智半导体设备导电滑环，替代传统拖链、绕线结构： 

✅ 消除线缆扭转缠绕风险，减少设备故障停机； 

✅ 低动态电阻，微弱控制信号传输稳定，保障研磨工艺参数精准执行； 

✅ 超薄盘式结构，适配研磨机紧凑机械布局； 

✅ 标准化接口与引线，便于设备集成商整机装配； 

✅ 工业级可靠性，降低半导体设备后期维护频次。

产品关键参数汇总

 九江英智科技深耕精密导电滑环研发制造，针对半导体设备、精密自动化、检测装备提供定制 & 标准滑环方案，盘式滑环、过孔滑环、光纤滑环均可按需定制，欢迎咨询选型。

备注：配图AI生成